1、真空泵的工作壓強應該滿[Man]足真[Zhen]空設備的極[Ji]限[Xian]真空[Kong]及工作壓[Ya]強(Qiang)要求。如:真空[Kong]鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用[Yong]的真[Zhen]空泵的(De)真空度至少要5×10-6mmHg。通[Tong]常選擇泵的真空[Kong]度(Du)要高于真空設[She]備真空度[Du]半個[Ge]到一個數量級。
2、正确(Que)地選擇真[Zhen]空泵的工作點[Dian]。每種泵都有一定的工作壓[Ya]強[Qiang]範圍,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強[Qiang]範圍内,泵的抽速[Su]随壓強而變化,其穩定的[De]工作壓強範圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作(Zuo)點應該選在(Zai)這個範圍[Wei]之[Zhi]内,而不能讓它在(Zai)10-8mmHg下長(Zhang)期工作。又[You]如钛升華泵可[Ke]以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應[Ying]小于1×10-5mmHg為好。
3、真空[Kong]泵在其工作壓強下,應能排走真(Zhen)空設備工藝(Yi)過程中産生的全部氣體(Ti)量。
4、正确地組合真空[Kong]泵。由[You]于真空泵(Beng)有(You)選擇性抽氣,因而(Er),有時選用一種泵不(Bu)能滿足抽氣(Qi)要求,需要幾種泵組合起(Qi)來,互相補充[Chong]才能滿足抽氣要求。如钛升華[Hua]泵對氫(Qing)有很高的抽速,但不能[Neng]抽[Chou]氦,而三極型[Xing]濺射離子泵,(或二極型非(Fei)對稱陰極濺(Jian)射離子泵)對氩有一定的抽速,兩者組(Zu)合起來,便會使真空[Kong]裝置[Zhi]得到較好的真(Zhen)空度。另外,有的真空(Kong)泵(Beng)不能在大氣(Qi)壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強[Qiang]低于大(Da)氣壓,需要前級泵(Beng),故都(Dou)需要把泵組合起來使用。
5、真空設備對(Dui)油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各[Ge]種無油泵,如[Ru]:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果(Guo)要求不嚴格,可以選擇有油泵[Beng],加上一些防油污染措施,如加冷阱、障闆、擋油阱等(Deng),也能達到清潔真空要求[Qiu]。
6、了解被抽氣體(Ti)成分,氣體中含不含可[Ke]凝蒸氣,有無顆粒(Li)灰塵,有無腐蝕(Shi)性等[Deng]。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體[Ti]選擇相應的泵。如果氣體中含有(You)蒸氣、顆粒、及腐蝕[Shi]性氣體,應該考慮在[Zai]泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如[Ru]冷凝器、除塵(Chen)器等。
7、真空泵排出來的油蒸氣[Qi]對環境的影響如何。如果環境不(Bu)允許有(You)污染(Ran),可以選無[Wu]油真空泵,或者[Zhe]把油蒸氣排到室外。
8、真空泵工作時産生的振動對[Dui]工藝過程及(Ji)環境有無影(Ying)響。若工藝過程(Cheng)不允許,應選擇無振動的泵或者采(Cai)取防[Fang]振動措施。
9、真空泵的價格、運轉及(Ji)維修費用。
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