1、真(zhēn)空泵的工作(zuò)壓強應該滿足真(zhēn)空設(shè)備的極限(xiàn)真空及工(gōng)作壓(yā)強要求(qiú)。如：真空(kōng)鍍膜要(yào)求1×10-5mmhg的真(zhēn)空度(dù)，選用(yòng)的真空泵(bèng)的(de)真空度(dù)至少要(yào)5×10-6mmhg。通常選(xuǎn)擇(zé)泵的真空度(dù)要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一(yī)個(gè)數量級(jí)。

　　2、正确地(dì)選(xuǎn)擇真空(kōng)泵的(de)工作點(diǎn)。每種泵都(dōu)有一定的工作(zuò)壓強(qiáng)範圍，如(rú)：擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmhg，在(zài)這樣寬壓(yā)強範圍内，泵的抽速(sù)随壓強而(ér)變化，其穩(wěn)定的(de)工作壓強範圍(wéi)為5×10-4~5×10-6mmhg。因(yīn)而，泵(bèng)的工作點(diǎn)應(yīng)該選在(zài)這個範圍之(zhī)内(nèi)，而不(bú)能(néng)讓(ràng)它在(zài)10-8mmhg下長期工作。又如钛升(shēng)華泵可(kě)以在10-2mmhg下工作，但(dàn)其工作壓強(qiáng)應小于1×10-5mmhg為(wéi)好。

　　3、真空(kōng)泵在(zài)其工作壓強下(xià)，應能排走(zǒu)真空(kōng)設(shè)備工藝(yì)過程中産生的(de)全部(bù)氣體量。

　　4、正(zhèng)确地組合(hé)真空(kōng)泵。由(yóu)于(yú)真空泵(bèng)有選擇性抽氣(qì)，因而(ér)，有時(shí)選用(yòng)一種泵不能滿足抽氣要(yào)求，需要幾種泵組合(hé)起來，互相補充(chōng)才能滿足抽氣(qì)要求。如钛(tài)升華(huá)泵對(duì)氫有(yǒu)很高(gāo)的抽(chōu)速，但(dàn)不能抽氦，而(ér)三極型濺射(shè)離子泵，（或(huò)二極型(xíng)非(fēi)對稱陰極(jí)濺射離子泵）對氩(yà)有(yǒu)一定的抽速，兩者組(zǔ)合起來，便(biàn)會(huì)使(shǐ)真空裝置得到(dào)較好的真(zhēn)空度。另外(wài)，有的真空(kōng)泵不能在(zài)大氣壓下(xià)工作，需(xū)要(yào)預真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于(yú)大氣壓，需要(yào)前級泵，故都(dōu)需要把(bǎ)泵組(zǔ)合(hé)起來(lái)使用(yòng)。

　　5、真空(kōng)設備對(duì)油(yóu)污染的要(yào)求。若設備(bèi)嚴格要求(qiú)無油(yóu)時，應該(gāi)選各(gè)種(zhǒng)無油泵，如(rú)：水環(huán)泵、分(fèn)子篩吸附泵、濺射離子泵(bèng)、低溫泵(bèng)等。如果(guǒ)要求不嚴格，可以選(xuǎn)擇有油泵(bèng)，加上一(yī)些防油(yóu)污染(rǎn)措(cuò)施，如加(jiā)冷阱、障闆(pǎn)、擋油(yóu)阱等，也能達到(dào)清潔真空要求(qiú)。

　　6、了解被抽氣體(tǐ)成分(fèn)，氣體中含(hán)不含(hán)可凝蒸氣(qì)，有無顆粒灰塵，有無(wú)腐(fǔ)蝕(shí)性等(děng)。選擇真空泵時(shí)，需要(yào)知(zhī)道氣體(tǐ)成分，針對被抽(chōu)氣體選擇相應(yīng)的泵(bèng)。如果(guǒ)氣體(tǐ)中含有蒸氣、顆(kē)粒、及(jí)腐(fǔ)蝕性氣(qì)體(tǐ)，應(yīng)該(gāi)考慮在(zài)泵的進氣(qì)口(kǒu)管(guǎn)路上安(ān)裝輔助(zhù)設備，如(rú)冷(lěng)凝器(qì)、除塵(chén)器等。

　　7、真空(kōng)泵(bèng)排出來(lái)的油(yóu)蒸氣(qì)對環境的(de)影響(xiǎng)如何(hé)。如果(guǒ)環境不允許有污染，可以選無油真(zhēn)空(kōng)泵，或者(zhě)把油蒸氣(qì)排到(dào)室外。

　　8、真空泵工作時産(chǎn)生(shēng)的振(zhèn)動對(duì)工藝過程(chéng)及環境有無影響。若工藝(yì)過程(chéng)不允許(xǔ)，應選擇無振動的泵或者采取(qǔ)防振動措施(shī)。

　　9、真空(kōng)泵的(de)價格、運轉(zhuǎn)及維(wéi)修費(fèi)用。

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